和通常的机械加工一样，线切割本身的各种误差以及工件和工具电极的定位、安装误差都会影响到加工精度，这里主要讨论与电火花加工工艺有关的因素。
    影响其加工精度的主要因素有放电间隙的大小及其一致性、工具电极的损耗及其稳定性。
    1、放电间隙：电火花加工时，工具电极与工件之间存在着一定的放电间隙，如果加工过程中放电间隙能保持不变，则可以通过修正工具电极的尺寸对放电间隙进行补偿，以获得较高的加工精度。然而，放电间隙的大小实际上是变化的，影响着加工精度。除了间隙能否保持一致以外，间隙的大小对线切割加工精度也有影响。尤其是对复杂的加工表面，棱角部位电场强度分布不均，间隙越大，影响越严重。因此，为了减少加工误差，应该采用较低的加工规准，缩小放电间隙，这样不但能够提高仿形精度，而且放电间隙愈小，可能产生的间隙变化量也愈小，另外，还必须尽可能使加工过程稳定。电参数对放电间隙的影响是非常显著的，精加工的放电间隙一般只有0.01mm（单面），而在粗加工时则可达0.5mm以上。
    2、工具电极损耗及稳定性
    这种损耗对尺寸精度和形状精度都有影响。电火花穿孔加工时，电极可以贯穿型孔而补偿电极的损耗，型腔加工时则无法采用这一方法，精密型腔加工时可采用更换电极的方法。
    影响线切割加工形状的因素还有“二次放电”，二次放电是指已加工表面上由于电蚀产物等的介入而在此进行的非正常放电，集中反映在加工深度方向产生斜度和加工棱角棱边变钝方面。
    产生线切割加工斜度的情况，由于工具电极下端部加工时间长，绝对损耗大，而电极入口处的放电间隙则由于电蚀产物的存在，“二次放电”的几率大而扩大，因而产生了加工斜度。

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